设备名称：多功能离子束复合沉积设备

设备型号：昆山东威  JCS-0.6

设备简介：该设备用于金属蒸汽真空弧离子源（MEVVA）注入、磁过滤等离子体源沉积镀膜、离子束溅射镀膜和宽束离子源、宽束磁过滤等离子体弧源的实验研究。适合柔性材料的离子注入及沉积的表面处理，适合多种硬质薄膜研究，多元多层薄膜研究。应用范围可在5G陶瓷滤波器覆银，OLED封装，柔性超薄集流体制备等方面。