设备名称：微流控芯片操作平台

设备型号：光刻机(中国科学院光电技术研究所,URE-2000/A);超声清洗机(语路,YL-060S);真空干燥箱(上海一恒,DZF-6032);匀胶机(苏州汶颢微流控技术股份有限公司,WH-SC-01);烘胶台(苏州汶颢微流控技术股份有限公司,WH-HP-01);等离子清洗机(成都铭恒,PDC-MG型);马弗炉(郑州安晟科学仪器有限公司,ASQF-1200-12);CNC 数控雕刻机(常州精率,JS-6060);热压键合机(苏州星微控生物科技有限公司,X350型)

设备简介：微流控芯片操作平台由光刻机、数控雕刻机、热压键合机等9台设备组成。本平台主要用于制造小规模微流控芯片，用于基于外泌体和纳米递药颗粒的提纯、富集、分析和研究。该平台在材料、电子器件制作等研究领域是必需设备，主要用于制造小规模集成电路、半导体器件、红外器件、声表器件、微机电系统、微流控等，具有操作方便、性能稳定可靠等特点。